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臺(tái)階高度測(cè)試

工作原理：
探針根據(jù)設(shè)定的掃描長(zhǎng)度、速度和接觸力在樣品表面移動(dòng)，隨著樣品表面的變化，鏈接在探針上的線性差動(dòng)變壓器接收處理變化的電信號(hào)。將變化的電信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)后，就能重現(xiàn)樣品表面的起伏變化。
用途
–可以測(cè)量薄(厚)膜臺(tái)階高度(納米、微米級(jí)別)；
–可以測(cè)量樣品表面形貌和起伏度，也可以測(cè)量納米級(jí)樣品表面粗糙度；
–可以測(cè)量并分析樣品的三維形貌；

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