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表面形貌測試

探針式表面輪廓儀：
P-7 是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。P-7建立在市場P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng) 的成功基礎(chǔ)之上。它保持了P-17技術(shù)的卓越測量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了極高的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。
主要功能
臺(tái)階高度：幾納米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接 ? 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)
圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
生產(chǎn)能力：通過測序，模式識(shí)別和SECS / GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化

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