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測試服務(wù)

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EMMI(微光顯微鏡)
EMMI(微光顯微鏡)

對于失效分析而言,微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用,且效率極高的分析工具,主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中,EHP Recombination會放出光子,例如:在PN Junction加偏壓,此時(shí)N的電子很容易擴(kuò)散到P, 而P的空穴也容易擴(kuò)散至N,然后與P端的空穴做EHP Recombination。


偵測到亮點(diǎn)之情況:

1.漏電結(jié);2.解除毛刺;3.熱電子效應(yīng);4.閂鎖效應(yīng); 5.氧化層漏電;6.多晶硅須;7.襯底損失;8.物理損傷等。


測試內(nèi)容:

1.P-N接面漏電,P-N接面崩潰;

2.飽和區(qū)晶體管的熱電子;

3.氧化層漏電流產(chǎn)生的光子激發(fā);

4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD。

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