微流道芯片
Product pilot test
1.硼硅玻璃:BF33玻璃,是一種高硼硅玻璃具有出色的耐熱性、極高的透明度、高化學(xué)耐受性以及優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度。
2.石英玻璃:具有低熱膨脹系數(shù)、耐化學(xué)性強(qiáng)、耐高溫(最高可達(dá) 900oC) 、具有優(yōu)異的光學(xué)性能,如均勻性和高紫外線透射率,適用于微流體流動(dòng)池、微反應(yīng)器和紫外分光光度法檢測(cè)的微流控芯片。
石英玻璃 也比其他類(lèi)型的玻璃更能抵抗熱沖擊。
1.深度1um內(nèi)用IBE刻蝕,刻蝕精度10%以內(nèi),深寬比1:1,加工效率高。
2.深度1-20um,可用NLD刻蝕,刻蝕具有高刻蝕速率、高均勻性、高等離子體密度及低壓放電。
3.深度20um以上用濕法腐蝕,加工效率高,深寬比2:1以上。
4.線寬200um以上,精度要求低,可采用激光刻蝕。
加工案例 | |||
T型液滴 | 流動(dòng)聚焦型 | 激光刻蝕 | |
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