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News
2023-07-28
當我們使用電子束光刻做pattern時，有時候會發(fā)現在一些特殊情況下，無法獲得完美的圖形（圖形變形、斷線等），這種情況極有可能是因為電子束光刻的充電...
2023-07-26
我們知道，在微納米技術的發(fā)展中MEMS一直是一個重要的應用方向，MEMS技術在尺度上的特點是橫跨1um到1mm尺度且結構復雜，除了常規(guī)我們使用的...
2023-07-26
PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition）是等離子增強化學氣相淀積，該技術是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極...
2023-07-25
MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金屬有機化合物化學氣相沉積設備），是在氣相外延（VPE）的基礎上發(fā)展起來的一...
2023-07-25
MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風、環(huán)境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計，&...
2023-07-25
在材料、微電子等研究課題中，制作高品質的電極是準確反映材料或者器件本身性能的前提條件，為此我們需要制作一個高品質的電極。在此，光刻中剝離（li...
