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2020-03-26
微納加工工藝沉積SiO2薄膜主要通過(guò)氧化和cvd兩種工藝方法。 氧化工藝是在高溫下，襯底的硅直接與O2發(fā)生反應(yīng)生成SiO2，后續(xù)O2通過(guò)SiO2層擴(kuò)散到...
2020-03-24
微機(jī)電工程系統(tǒng)（MicroelectromechanicalSystems，簡(jiǎn)稱(chēng)為MEMS）是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程結(jié)合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在μm范圍之...
2020-03-24
液位傳感器形體小，相對(duì)性?xún)糁剌^為輕，精確度高，有益于一體化的應(yīng)用，在工作壓力，高寬比，液體速度總流量，水利工程，地質(zhì)學(xué)，化工廠(chǎng)等診療行業(yè)獲得...
2020-03-23
mems加工表面加工工藝是基于襯底表面進(jìn)行微結(jié)構(gòu)制作的工藝，加工過(guò)程不需要對(duì)襯底進(jìn)行的去除或刻蝕，襯底主要用途是支撐微結(jié)構(gòu)。 MEMS表面加工工...
2020-03-14
1、體加工工藝 體加工工藝包括去加工（腐蝕）、附著加工（鍍膜）、改質(zhì)加工（摻雜）和結(jié)合加工（鍵合）。主要介紹腐蝕技術(shù)。腐蝕技術(shù)主要包括干法腐蝕...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
