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mems代加工服務的地方
點擊量：1290 日期：2020-05-19 編輯：硅時代
MEMS代加工服務商分為IDM廠商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠：
IDM廠商提供的MEMS代工包括博世、意法半導體、索尼、德州儀器等
純MEMS代工廠主要分為以下三類：
1. 大批量量產(chǎn)MEMS代工廠
國外代工廠：Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paci?c Microsystems，X-FAB ，Innovative Micro Technology等
國內(nèi)代工廠：臺積電，中芯國際，華宏宏力，華潤上華等；
2. 小批量中試線：蘇州納米城6寸MEMS中試線，上海新微8寸MEMS中試線，淄博6寸MEMS中試線等；
3. 研發(fā)產(chǎn)品開發(fā)工藝平臺：北京微電子所加工平臺,蘇州納米所加工平臺，上海微系統(tǒng)所加工平臺，上海交通大學先進電子材料與器件校級平臺等高校和研究所對外開放工藝平臺。
