新聞
News
等離子體刻蝕面臨的挑戰(zhàn)
點(diǎn)擊量:661 日期:2023-08-21 編輯:硅時(shí)代
近幾十年來,等離子刻蝕技術(shù)已取得了長足發(fā)展。利用等離子刻蝕技術(shù),人們得以準(zhǔn)確地雕刻器件結(jié)構(gòu),從而為晶體管尺寸的縮小以及性能的提升提供了保障。但是,當(dāng)前的先進(jìn)芯片關(guān)鍵尺寸更小,有些還具有三維結(jié)構(gòu)(如FinFETs和3D NAND),這無疑對當(dāng)前的等離子刻蝕技術(shù)提出了挑戰(zhàn)。
均勻性一直是刻蝕工藝的一大考量。關(guān)鍵器件結(jié)構(gòu)尺寸的允許工藝誤差一般約為其自身尺寸的10%。例如,寬度為 10nm 的晶體管柵極結(jié)構(gòu),其允許誤差僅為 1nm,相當(dāng)于3至4個(gè)原子層。
隨著結(jié)構(gòu)尺寸的不斷縮小,人們需要盡可能地降低由各種原因?qū)е碌墓に囌`差。不同尺寸的結(jié)構(gòu)在刻蝕中的速率差異是誤差產(chǎn)生的重要原因之一。這種深寬比相關(guān)刻蝕(ARDE)會(huì)導(dǎo)致高深寬比結(jié)構(gòu)的刻蝕速率要比低深寬比結(jié)構(gòu)的刻蝕速率低。
另一項(xiàng)挑戰(zhàn)則在于,刻蝕工藝需要在去除目標(biāo)材料的同時(shí),完好地保留下一層材料。
例如,一個(gè)薄膜堆棧由多層材料組成,我們可能只要去除最上面的那層(材料 1),而同時(shí)不能去除或損壞下層(材料 2)。材料 1 和材料 2 的刻蝕速率比稱為“選擇比”,很多刻蝕工藝都要求具有極高的選擇比。
第三項(xiàng)挑戰(zhàn)在于,當(dāng)達(dá)到期望的深度之后,等離子體中的高能離子可能會(huì)導(dǎo)致硅片表面粗糙或底層損傷,這是需要極力避免的問題。對于最先進(jìn)的芯片,工程師們需要對上述參數(shù)進(jìn)行更嚴(yán)格的控制,以期獲得原子級高保真度。
| 欧美在线中文字幕 | 一级 片内射情无码 | 极品美女黄片免费看看 | 人妻中文字幕av无码专区 | 少妇性BBB搡BBB爽爽爽作文 | 日日摸夜夜添夜夜添精品视频 | 亚洲AV永久无码乱码三区爱豆 | 免费网站在线观看禁18进入 | 欧美一级黃色A片免费看蜜桃 | 亚洲AV无码秘 蜜桃藤咲ゆい | y111111国产精品久久婷婷 | 日韩精品一区二区在线 | 女人被添全过程A片添 | 亚洲欧美国产日韩综合 | 人人妻人人澡人人爽欧美一区二区三区 | 妃光莉AV一区二区三区精品 | 蜜桃AV无码一区二区三区 | 欧美一区二区三区成人久久片 | 少妇被黑人猛进无码视频 | 波多野结衣免费观看一区二区三区入口观看 | 久久久无码精品秘 人口 | 韩国成人精品a∨在线观看 337p日本大胆噜噜噜噜 | 搡老女人老妇女老熟女60 | 中文字幕亚洲中文精品乱码在线 | 无码欧美熟妇人妻影院欧美潘金莲 | 人善交vuesdi欧美3D | 黄色视频大全免费版在线播放 | 1025韩国人妻手机看片 | 凸凹人妻人人澡人人添 | 少妇无码免费精品不卡AV专区 | 欧美一区二区三区性爱 | 亚洲中文字幕电影在线观看 | 精品国产乱码91久久久久久网站 | 97久久精品人人澡人人爽 | 国产精品一区二区免费 | 波多野结衣高清性隶A片 | 人妻精品久久无码区新狼窝 | 免费一级无码婬片A片APP下载 | 国产欧美一区二区色老头 | 亚洲成人精品女人久久久 |