新聞
News
等離子刻蝕的應用案例
點擊量:436 日期:2023-08-16 編輯:硅時代
等離子刻蝕主要應用在微電子制作工藝中,所有主要的處理對象是硅,用于精確圖形轉(zhuǎn)移。此外其還廣泛應用于等離子刻蝕平板、薄膜刻蝕以及纖維刻蝕中。
1.精確圖形轉(zhuǎn)移
在微電子制造工藝中,光刻圖形必須最終轉(zhuǎn)移到光刻膠下面組成器件的各薄膜層上,這種圖形的轉(zhuǎn)移是采用刻蝕工藝完成的。但是濕法刻蝕的寬度局限于3μm以上,因此要實現(xiàn)超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中的微細圖形高保真地從光刻模板轉(zhuǎn)移到硅片上不可替代的工藝只能采用等離子刻蝕。
在等離子刻蝕工藝中,首先是在把硅晶片上面涂抹一層光敏物質(zhì),并在光敏物質(zhì)上蓋上具有一定圖形的金屬模板。然后進行紫外曝光,使部分晶片的表面裸露出來,接著再把這種待加工的硅晶片放置到具有化學活性的低溫等離子中,進行等離子刻蝕。這種具有化學活性的等離子一般采用氯氣或碳氟氣體電離產(chǎn)生,含有電子和離子和其他活性自由基(如·Cl、·Cl2、·F、·CF等)。這些活性基團沉積到裸露的硅晶片上時,與硅原子反應生成揮發(fā)性的氯化硅或氟化硅分子,從而對晶片進行各向異性刻蝕。另一方面,為了控制轟擊到晶片上離子的能量分布和角度分布,還通常將晶片放置在一個施加射頻或脈沖偏壓的電極上面,在晶片的上方將形成一個非電中性的等離子區(qū),即鞘層-等離子中的離子在鞘層電場的作用下,轟擊到裸露的晶片表面上,并與表面層的硅原子進行撞,使其濺射出來,從而實現(xiàn)對晶片的各向異性刻蝕。目前在一些發(fā)達國家的實驗室里,刻蝕線寬已經(jīng)突破0.1μm,并開始考慮挑戰(zhàn)納米芯片的加工技術(shù)。
2.等離子刻蝕平板
兩個大小和位置對稱的平行金屬板作為等離子發(fā)生的電極,平板放置于接地的陰極上面,RF信號加在反應器的上電極。由于等離子電勢總是高于地電勢,因而是一種帶能離子進行轟擊的等離子刻蝕模式,進行各向異性刻蝕,可得幾乎垂直的側(cè)邊。另外,旋轉(zhuǎn)晶圓盤可增加刻蝕的均勻性。該系統(tǒng)可設計成批量和單個晶圓反應室,可對刻蝕參數(shù)精密控制,以得到均勻刻蝕。
| 久久精品噜噜噜成人看免欧美大片 | 日韩www95爱爱视频 | 91久久爽无码人妻AⅤ精品牛牛 | 无码av亚洲一品精品老司机 | 国产丨熟女丨国产熟女 | 精品国产Av无码久久久影音先锋 | 日本无码高清在线视频 | 国内精品久久久久久久软件 | 亚洲一区二区视频在线观看 | 国产伦精品一区二区三区妓女下载 | 天天看天人人人人人人 | 国产欧美精品久久久一区二区三区 | 欧美肥婆日逼视频免费播放 | 国产又黄又爽又色的免费蜜乳 | 国产精品人妻无码一区二区三区四 | 日韩精品无码一级A片蜜臀 91 国产在线观看竹菊 | 免费在线观看黄色视频网站 | 四虎8848成人永久视频 | 亲孑伦视频一区二区三区 | 国产视频高清无码在线观看 | 国产乱婬AV麻豆精东演员表 | 国产免费人做人爱午夜视频 | 亚洲AV秘 无码一区川村 | 中日韩午夜理伦电影免费 | 丰满人妻的婬乱生活2 | 特一妇一性一视一频 | 成全老司机黄色视频 | 国产精品久久久久久久久久直 | 日日噜噜噜夜夜爽爽狠狠88AV | 欧美成人性做爱免费视频 | 日本亲近相姦中文字幕特级毛片 | 国产亚洲精品久久久久动 | 一级特黄色一级视频 | 中文字幕人妻熟女人妻a 片 | 精品国产乱码久久久久久1区2区-亚洲 | 3D爆乳高跟魅魔被大鸡巴艹一区二区 | 波多野结衣高潮到受不了 | 古装一级婬片有奶水 | 日本中文字幕在线免费观看 | 欧美口爆视频在线播放 |